CDG100D (INFICON) Đầu đo chân không màng điện dung


Danh mục: .
Từ khóa: , , , .

Hỗ trợ mua hàng: 0976 974 726 - Mr.Tuấn

   
185 lượt đã xem sản phẩm này

CDG100D là dòng Đầu đo chân không màng điện dung, chịu nhiệt cao tới 200 độ C

Đây là sự lựa chọn tốt nhất cho yêu cầu đo và kiểm soát áp suất toàn dải chính xác.

CDG100D được kiểm soát nhiệt độ ở 100 ° C cho hiệu suất vượt trội trong các quy trình bán dẫn và plasma.

Chúng đáp ứng tốt với các model sẵn cho các dải đo từ từ 100 mTorr đến 1000 Torr, với tất cả các loại mặt bích và giao diện phổ biến cung cấp tín hiệu áp suất tuyến tính 0 đến 10 V.

Áp kế điện dung INFICON sử dụng màng ngăn bằng gốm alumina siêu tinh khiết chống ăn mòn.

Ưu điểm của các dòng CDG100D

  • Cảm biến gốm giúp ổn định tín hiệu tốt hơn, phục hồi nhanh hơn từ áp suất khí quyển
  • Thời gian làm nóng ngắn và tuổi thọ tuyệt vời
  • Không phụ thuộc vào các loại khí

Ứng dụng liên quan đến bán dẫn, plasma và yêu cầu độ chính xác chân không cao.

Clip thực tế thiết bị:

Bảng chọn dòng CDG100D

SPECIFICATIONS

Type 1000 … 500 Torr / mbar 200 … 1 Torr / mbar 0.5 … 0.1 Torr / mbar
Accuracy (1) % of reading 0.2 0.2 0.4
Temperature effect
on zero percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
on span % of reading / °C 0.02 0.02 0.02
Pressure, max. kPa (absolute) 400 260 130
Resolution percent FS 0.003 0.003 0.003
Lowest reading percent FS 0.01 0.01 0.01
Lowest suggested reading percent FS 0.05 0.05 0.05
Lowest suggested control pressure percent FS 0.5 0.5 0.5
Temperature
Operation (ambient) (5) °C +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
Bakeout at flange °C ≤110 ≤110 ≤110
Storage °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
Supply voltage +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
Power consumption
During Heat up W ≤15 ≤15 ≤15
At operating temperature W ≤10 ≤10 ≤10
Output signal (analog) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
Response time (2) ms 30 30 130 / 30 (3)
Degree of protection IP 40 IP 40 IP 40
Standards
CE conformity EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL certification UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI compliance (5) SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
Electrical connection D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
Setpoint
Number of setpoints 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Relay contact V (dc)
A (dc)
≤30 ≤30 ≤30
Hysteresis percent FS 1 1 1
Diagnostic port
Protocol RS232-C RS232-C RS232-C
Read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Set set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Materials exposed to vacuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
Internal volume
I. volume 1/2” tube cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volume DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volume DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volume 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Weight
Weight 1/2” tube g 837 837 837
Weight DN 16 ISO KF g 852 852 852
Weight DN 16 CF-R g 875 875 875
Weight 8 VCR® g 897 897 897
EtherCAT
Protocol EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Communication standards ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
Node address Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
Physical layer 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digital functions set set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Mailbox (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
Process data Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
EtherCAT connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Cable shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
Cable length m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
Signal processing time ms 2 2 2
DeviceNet™
Protocol DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
Data rate kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
Cable length 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
Cable length 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
Cable length 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID address 00 – 63 by switch or network programmable address 00 – 63 by switch or network programmable address 00 – 63 by switch or network programmable
Digital functions read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digital functions set set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Specification DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” (ODVA) DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” (ODVA) DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” (ODVA)
Device type ”VG” vacuum gauge ”VG” vacuum gauge ”VG” vacuum gauge
I / O slave messaging polling only polling only polling only
Supply voltage for gauge at D-sub connector +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
Supply voltage for DeviceNet transceiver at microstyle connector 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
Connector for DeviceNet™ microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
Connector for CDG (analog output, supply voltage CDG, setpoints) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP
Baud rates kBaud
Mbaud
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Address address 00 – 125 by switch or network programmable address 00 – 125 by switch or network programmable address 00 – 125 by switch or network programmable
Digital functions Read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digital functions Set set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Connector for Profibus DP D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
Connector for CDG (analog output, supply voltage, setpoints) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1) Non-linearity, hysteresis, repeatability at 25 °C ambient operating temperature without temperature effects after 2 hours operation.

(2) Increase 10 … 90 percent FS

(3) For pressure control type only.

(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

(5) Ambient temperatures >40°C may increase surface temperatures above SEMI S2 compliance levels

Tải Datasheet

Đánh giá

Chưa có đánh giá nào.

Hãy là người đầu tiên đánh giá “CDG100D (INFICON) Đầu đo chân không màng điện dung”

Yêu cầu báo giá

Tên của Bạn (bắt buộc)

Địa chỉ Email (bắt buộc)

Mobile (bắt buộc)