IC6 Thin Film Deposition Controller


Danh mục: , .
Từ khóa: , , , , .

Hỗ trợ mua hàng: 0976 974 726 - Mr.Tuấn

   
264 lượt đã xem sản phẩm này

IC6 Thin Film Deposition Controller – MAKING EXCELLENCE REPEATABLE”

Đây là thiết bị đo cho kết quả đo lường chính xác nhất trên thị trường!

Bộ điều khiển lắng đọng màng mỏng IC6 của INFICON mang lại những giá trị đặc biệt cho khách hàng với nhiều tính năng độc đáo, tất cả được thiết kế để giúp người sử dụng có được nhiều thông tin nhất từ quá trình lắng đọng của mình.

IC6 sử dụng hệ thống đo tần số ModeLock cho phép đo độ dày với tốc độ phân giải cao, ổn định với độ phân giải dẫn đầu ngành công nghiệp chỉ là 0.00433 Å/s sau mỗi 1/10 giây.

Không có bộ điều khiển tinh thể thạch anh nào khác mà có hiệu suất, chất lượng và tính năng như IC6, cho phép tính lặp lại xuất sắc như vậy.

TỔNG QUAN

  • Công nghệ INFICON ModeLock đảm bảo đo độ dày và độ phân giải cao nhất, ổn định nhất, ngay cả ở tốc độ rất thấp
  • Tính năng Auto Z cải thiện độ chính xác của độ dày bằng cách tự động xác định tỷ lệ Z khi vật liệu được lắng đọng, Đồng thời mã hóa lên đến sáu nguồn
  • Màn hình màu LCD giúp dễ dàng xem những gì đang diễn ra với quy trình của bạn
    +/- 0,0035 Hz trên 100ms mẫu
  • Lưu trữ dữ liệu USB để chụp ảnh màn hình, lưu trữ công thức và ghi dữ liệu
  • I / O mạnh mẽ với khả năng linh hoạt để tích hợp vào các hệ thống đơn giản hoặc phức tạp (sử dụng Đầu vào có thể mở rộng (28) và Đầu ra (24 Rơle, 14 đầu ra TTL) và sử dụng các chức năng logic (100 câu lệnh logic)
    6 chuẩn đầu ra của DAC, 6 tùy chọn bổ sung để kiểm soát nguồn, theo dõi tốc độ hoặc độ dày
  • Có thể chứa tối đa 50 quy trình gồm 200 lớp và mỗi quy trình có thể được liên kết với nhau tối đa 10.000 lớp
  • Nhiều cảm biến, trung bình cho phép tối đa 8 cảm biến
  • Tùy chọn XIU 4 mét cung cấp khả năng sử dụng cáp cảm biến trong chân không sâu cho các hệ thống lớn
  • Truyền thông Ethernet tùy chọn
  • Phần mềm chỉnh sửa cấu hình IC6 tùy chọn (số phần 781-620-G1) – Phần mềm Windows® dựa trên LabVIEW® cho phép tạo và chỉnh sửa ngoại tuyến các tệp cấu hình IC6 và chuyển đổi tệp cấu hình IC / 5 sang định dạng IC6.
  • Tuân thủ RoHS

CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU

  • High End Optical Coating

 

 

 

Tải datasheet tại đây

SPECIFICATIONS

Type IC6
Measurement Performance
Frequency resolution ±0.0035 Hz @ 6 MHz
Thickness and rate resolution/measurement (1) ±0.00433 Å
Measurement frequency range 6.0 to 4.5 MHz (fixed)
Thickness accuracy (2) 0.5%
Measurement interval 0.10 s
Multiple measurement averaging 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
Design Features
Auto Z yes
Autotone yes
Co-deposition yes (up to 6 sources)
Process Recipe & Data Management
Material programs 32
Process layers (per process) 200
Processes 50 (processes can be linked together)
USB memory yes
Data logging yes
Hardware Features
Sensors (3)
Single 8
Dual / CrystalTwo® 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix® 8
Crystal 12® 8
Generic 8
Source Controls
Number of sources (4) up to 6
Source control voltages 0 to +/-10 V, adjustable
Output resolution 15 bits over full range (0 to 10V)
Crucible positions 64
Inputs / Outputs
Inputs 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
Outputs 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
Recorder output (4) 0 to +10 V, adjustable
Logic statements 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
Communications
Standard RS232
Optional Ethernet
Display
Thickness resolution 1 Å for 0 to 9.999 kÅ10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ

100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ

1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ

Rate resolution 0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater0.01 for 0 to 99.99 Å/s

0.1 for 100 to 999.9 Å/s

Operation
Power requirements 100 – 230 V (ac) +/- 15%

50 / 60 Hz +/- 3 Hz

Operating temperature 0 to 50°C (32 to 122°F)
Dimensions, excluding mounts (h x w x d) 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
Weight 23 lbs (10.5 kg)

(1) Tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz

(2) Varies according to process; figures reflect typical accuracy

(3) Maximum configuration of each type

(4) The IC6 has 6 DAC outputs standard, 6 more can be added as an option.  Any of the 12 can be configured as source control voltages or recorder outputs however the number of sources that can be controlled simultaneously is 6

Đánh giá

Chưa có đánh giá nào.

Hãy là người đầu tiên đánh giá “IC6 Thin Film Deposition Controller”

Yêu cầu báo giá

Tên của Bạn (bắt buộc)

Địa chỉ Email (bắt buộc)

Mobile (bắt buộc)