IC6 Thin Film Deposition Controller
Price: Yêu cầu báo giá
Product Categories: Deposition Controllers, Thin Film Deposition
Product Tags: controller, deposition-controller, ic6, inficon, thin-film-controller
Product Page: https://dbmstore.net/san-pham/ic6-thin-film-deposition-controller/
Product Summary
| Model |
IC6 |
| Độ phân giải tần số |
±0.0035 Hz tại 6 MHz |
| Độ phân giải tốc độ và độ dày |
±0.00433 Å |
| Dải tần số đo |
6.0 đến 4.5 MHz (cố định) |
| Độ chính xác của độ dày (2) |
0.5% |
| Thời gian đo |
0.10 s |
| Thời gian nhiều phép đo trung bình |
0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, và 30.0 giây |
| Auto Z |
có |
| Autotone |
có |
| Co-deposition |
có (lên đến 6 nguồn) |
| Chương trình |
32 |
| Số lớp (mỗi tiến trình) |
200 |
| Tiến trình |
50 (tiến trình có thể được liên kết với nhau) |
| Lưu trữ USB |
có |
| Data logging |
có |
| Đơn |
8 |
| Đôi / CrystalTwo® |
4 / 8 (với CrystalTwo® Switch) |
| CrystalSix® |
8 |
| Crystal 12® |
8 |
| Generic |
8 |
| Số nguồn |
6 |
| Điện áp điều khiển nguồn |
0 to +/-10 V, có thể điều chỉnh |
| Độ phân giải ngõ ra |
15 bits trên tất cả dải đo (0 to 10V) |
| Crucible positions |
64 |
| Ngõ vào |
14 chuẩn, lên đến 28 (tùy chọn); cổng logicTTL/CMOS hoặc nối đất |
| Ngõ ra |
8 chuẩn, lên đến 24 (tùy chọn), ngõ ra relay lập trình SPST tại 30 V(dc) hoặc 30 V(ac) RMS hoặc 42 V đỉnh tại 2.5 amps; 14 tùy chọn ngõ ra TTL |
| Ngõ ra bộ ghi |
0 to +10 V, có thể điều chỉnh |
| Câu lệnh Logic |
100 lập trình; lên đến 5 actions, 5 events mỗi câu lệnh |
| Giao tiếp tiêu chuẩn |
RS232 |
| Giao tiếp tùy chọn |
Ethernet |
| Độ phân giải độ dày |
1 Å cho khoảng 0 đếb 9.999 kÅ và 10 Å cho khoảng 10.00 đến 99.99 kÅ
100 Å cho khoảng 100.0 đến 999.9 kÅ
1 kÅ cho khoảng 1000 đến 9999 kÅ |
| Độ phân giải tốc độ |
0.001 cho khoảng từ 0 đến 9.999 Å/s nếu cài đặt bộ lọc thời gian khoảng 10 giây hoặc hơn
0.01 khoảng từ 0 đến 99.99 Å/s
0.1 cho khoảng từ 100 đến 999.9 Å/s |
| Nguồn cấp |
100 – 230 V (ac) +/- 15%
50 / 60 Hz +/- 3 Hz |
| Nhiệt độ hoạt động |
0 đến 50°C |
| Kích thước (Cao x rộng x dài) |
133mm x 483mm x 330 mm |
| Khối lượng |
10.5 kg |
Product DescriptionIC6 Thin Film Deposition Controller - "MAKING EXCELLENCE REPEATABLE"
Đây là thiết bị đo cho kết quả đo lường chính xác nhất trên thị trường!
Bộ điều khiển lắng đọng màng mỏng IC6 của INFICON mang lại những giá trị đặc biệt cho khách hàng với nhiều tính năng độc đáo, tất cả được thiết kế để giúp người sử dụng có được nhiều thông tin nhất từ quá trình lắng đọng của mình.
IC6 sử dụng hệ thống đo tần số ModeLock cho phép đo độ dày với tốc độ phân giải cao, ổn định với độ phân giải dẫn đầu ngành công nghiệp chỉ là 0.00433 Å/s sau mỗi 1/10 giây.
Không có bộ điều khiển tinh thể thạch anh nào khác mà có hiệu suất, chất lượng và tính năng như IC6, cho phép tính lặp lại xuất sắc như vậy.
TỔNG QUAN
- Công nghệ INFICON ModeLock đảm bảo đo độ dày và độ phân giải cao nhất, ổn định nhất, ngay cả ở tốc độ rất thấp
- Tính năng Auto Z cải thiện độ chính xác của độ dày bằng cách tự động xác định tỷ lệ Z khi vật liệu được lắng đọng
- Đồng kết tủa liên tục lên đến sáu nguồn
- Màn hình màu LCD giúp dễ dàng xem những gì đang diễn ra với quy trình của bạn
- +/- 0,0035 Hz trên 100ms mẫu
- Lưu trữ dữ liệu USB để chụp ảnh màn hình, lưu trữ công thức và ghi dữ liệu
- I / O mạnh mẽ với khả năng linh hoạt để tích hợp vào các hệ thống đơn giản hoặc phức tạp (sử dụng ngõ vào mở rộng (28) và ngõ ra (24 Rơle, 14 đầu ra TTL) và sử dụng hàm logic (100 câu lệnh logic)
- 6 chuẩn ngõ ra DAC, 6 tùy chọn bổ sung để kiểm soát nguồn, theo dõi tốc độ hoặc độ dày
- Có thể chứa tối đa 50 quy trình gồm 200 lớp và mỗi quy trình có thể được liên kết với nhau tối đa 10.000 lớp
- Đa cảm biến, trung bình lên đến 8 cảm biến
- Tùy chọn XIU 4 mét cung cấp khả năng sử dụng cáp cảm biến trong chân không sâu cho các hệ thống lớn
- Truyền thông Ethernet tùy chọn
- Phần mềm chỉnh sửa cấu hình IC6 tùy chọn (số phần 781-620-G1) - Phần mềm Windows® dựa trên LabVIEW® cho phép tạo và chỉnh sửa ngoại tuyến các tệp cấu hình IC6 và chuyển đổi tệp cấu hình IC / 5 sang định dạng IC6.
- Tuân thủ RoHS
CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU
- Lớp phủ quang cao cấp (High End Optical Coating)
|
