IC6 Thin Film Deposition Controller

IC6 Thin Film Deposition Controller – “MAKING EXCELLENCE REPEATABLE”

Đây là thiết bị đo cho kết quả đo lường chính xác nhất trên thị trường!

Bộ điều khiển lắng đọng màng mỏng IC6 của INFICON mang lại những giá trị đặc biệt cho khách hàng với nhiều tính năng độc đáo, tất cả được thiết kế để giúp người sử dụng có được nhiều thông tin nhất từ quá trình lắng đọng của mình.

IC6 sử dụng hệ thống đo tần số ModeLock cho phép đo độ dày với tốc độ phân giải cao, ổn định với độ phân giải dẫn đầu ngành công nghiệp chỉ là 0.00433 Å/s sau mỗi 1/10 giây.

Không có bộ điều khiển tinh thể thạch anh nào khác mà có hiệu suất, chất lượng và tính năng như IC6, cho phép tính lặp lại xuất sắc như vậy.

TỔNG QUAN

• Công nghệ INFICON ModeLock đảm bảo đo độ dày và độ phân giải cao nhất, ổn định nhất, ngay cả ở tốc độ rất thấp
• Tính năng Auto Z cải thiện độ chính xác của độ dày bằng cách tự động xác định tỷ lệ Z khi vật liệu được lắng đọng
• Đồng kết tủa liên tục lên đến sáu nguồn
• Màn hình màu LCD giúp dễ dàng xem những gì đang diễn ra với quy trình của bạn
• +/- 0,0035 Hz trên 100ms mẫu
• Lưu trữ dữ liệu USB để chụp ảnh màn hình, lưu trữ công thức và ghi dữ liệu
• I / O mạnh mẽ với khả năng linh hoạt để tích hợp vào các hệ thống đơn giản hoặc phức tạp (sử dụng ngõ vào mở rộng (28) và ngõ ra (24 Rơle, 14 đầu ra TTL) và sử dụng hàm logic (100 câu lệnh logic)
• 6 chuẩn ngõ ra DAC, 6 tùy chọn bổ sung để kiểm soát nguồn, theo dõi tốc độ hoặc độ dày
• Có thể chứa tối đa 50 quy trình gồm 200 lớp và mỗi quy trình có thể được liên kết với nhau tối đa 10.000 lớp
• Đa cảm biến, trung bình lên đến 8 cảm biến
• Tùy chọn XIU 4 mét cung cấp khả năng sử dụng cáp cảm biến trong chân không sâu cho các hệ thống lớn
• Truyền thông Ethernet tùy chọn
• Phần mềm chỉnh sửa cấu hình IC6 tùy chọn (số phần 781-620-G1) – Phần mềm Windows® dựa trên LabVIEW® cho phép tạo và chỉnh sửa ngoại tuyến các tệp cấu hình IC6 và chuyển đổi tệp cấu hình IC / 5 sang định dạng IC6.
• Tuân thủ RoHS

CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU

• Lớp phủ quang cao cấp (High End Optical Coating)