INFICON PBR 260 – Đầu đo chân không Pirani kết hợp Cold Cathode
INFICON PBR 260 là đầu đo chân không kết hợp Pirani và Bayard-Alpert Hot Cathode, được thiết kế để đo áp suất từ khí quyển đến vùng siêu cao chân không (UHV). Với hai nguyên lý đo được tích hợp trong một thiết bị nhỏ gọn, PBR 260 cung cấp giải pháp đo và kiểm soát chân không liên tục trong nhiều ứng dụng công nghiệp, bán dẫn và coating.
Một ưu điểm đáng chú ý của PBR 260 là cảm biến Bayard-Alpert được tự động bật/tắt dựa trên tín hiệu từ Pirani, giúp bảo vệ hot cathode khi áp suất còn quá cao và tự động chuyển sang chế độ đo phù hợp khi hệ thống đạt điều kiện chân không cần thiết.
Thông số kỹ thuật INFICON PBR 260
| Thông số | PBR 260 |
|---|---|
| Nguyên lý đo | Pirani + Bayard-Alpert Hot Cathode |
| Dải đo | 5 × 10⁻¹⁰ đến 1000 mbar |
| Độ chính xác | ±15% giá trị đọc, từ 10⁻⁸ đến 10⁻² mbar |
| Độ lặp lại | ±5% giá trị đọc, từ 10⁻⁸ đến 10⁻² mbar |
| Áp suất tối đa | 2 bar |
| Điện áp cấp | 20–28 VDC |
| Công suất tối đa | 16 W |
| Tín hiệu output | 0,774–10 V |
| Ngưỡng lỗi cảm biến | <0,5 V |
| Tải tối thiểu | 10 kΩ |
| Nhiệt độ vận hành | 0 đến +50°C |
| Nhiệt độ lưu trữ | -20 đến +70°C |
| Nhiệt độ bake-out | 150°C, khi tháo phần điện tử |
| Cathode | Iridium phủ Yttrium Oxide |
| Vật liệu tiếp xúc chân không | Cu, Glass, NiFe, Mo, Stainless Steel, NiCr |
| Chiều dài cáp tối đa | 100 m |
| Kết nối chân không | DN25 ISO-KF, DN40 ISO-KF, DN40 CF-R |
| Khối lượng | 285–550 g tùy phiên bản |
Các thông số trên được lấy từ tài liệu kỹ thuật của INFICON.
Mã sản phẩm INFICON PBR 260
| Part Number | Phiên bản |
|---|---|
| IGG27000 | PBR 260 – DN25 ISO-KF |
| IGG27001 | PBR 260 – DN40 ISO-KF |
| IGG27002 | PBR 260 – DN40 CF-R |
| IN846517-T | Sensor head thay thế – DN25 ISO-KF |
| IN846518-T | Sensor head thay thế – DN40 ISO-KF |
| IN846519-T | Sensor head thay thế – DN40 CF-R |
INFICON cũng công bố PBR 260 có khả năng drop-in replacement cho một số đầu đo PBR 260 của nhà sản xuất khác nhờ tương thích về tín hiệu analog và giao diện điện.
Ưu điểm nổi bật
- Dải đo cực rộng: từ 5 × 10⁻¹⁰ đến 1000 mbar.
- Tích hợp hai nguyên lý đo Pirani và Bayard-Alpert Hot Cathode trong một thiết bị.
- Tự động điều khiển trạng thái ON/OFF của hot cathode thông qua Pirani.
- Độ chính xác và độ lặp lại tốt trong vùng 10⁻⁸–10⁻² mbar.
- Thiết kế nhỏ gọn, dễ tích hợp vào hệ thống chân không.
- Có nhiều lựa chọn kết nối ISO-KF và CF.
- Sensor head có thể thay thế, giúp thuận tiện cho bảo trì.
- Cathode iridium phủ yttrium oxide cho tuổi thọ cao.
Ứng dụng của INFICON PBR 260
PBR 260 phù hợp cho các ứng dụng cần đo và giám sát áp suất từ áp suất khí quyển xuống vùng UHV, đặc biệt:
- Hệ thống chân không công nghiệp
- Thiết bị bán dẫn (Semiconductor)
- Hệ thống coating và PVD
- Optical coating
- Thiết bị phân tích
- Buồng chân không
- Hệ thống nghiên cứu và R&D
- Các hệ thống cần theo dõi base pressure ở vùng chân không cao và siêu cao.
Video thực tế sản phẩm:
https://youtube.com/shorts/BOlsPaD75GU?si=mpgIki5gUvhPo3ji
DBM hiện đang là nhà phân phối ủy quyền của hãng INFICON tại Việt Nam nên chúng tôi không chỉ cấp sản phẩm chính hãng mà còn làm service chuyên sâu để quý khách an tâm sử dụng dịch vụ chính hãng lâu dài
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.