XTC/3 Thin Film Deposition Controller


Danh mục: , .
Từ khóa: , , , .

Hỗ trợ mua hàng: 0976 974 726 - Mr.Tuấn

   
423 lượt đã xem sản phẩm này

XTC/3 Thin Film Deposition Controller

XTC/3 là bộ điều khiển rất thông dụng của hãng INFICON, được dùng trong qúa trình lắng đọng màng mỏng.

Thiết bị này dùng phù hợp cho cả quy trình đơn hoặc đa lớp.

XTC/3 với công nghệ ModeLock đã được cấp bằng sáng chế, cho phép ngăn chặn chế độ hop thường gặp trong đo độ dày màng mỏng.

Với bộ điều khiển này, bạn có thể kiểm soát chính xác tốc độ lắng đọng và độ dày , phù hợp cho hầu hết mọi lớp, cài đặt dễ dàng với độ tin cậy cực cao để đảm bảo năng suất tốt nhất.

ƯU ĐIỂM

  • Có sẵn model phù hợp cho quy trình single-layer vs multiple-layer
  • Công nghệ ModeLock được cấp bằng sáng chế ngăn ngừa lỗi độ dày màng do chế độ nhảy (mode-hopping)
  • Hỗ trợ INFICON Crystal 12®, Crystal Six® và chuyển đổi tinh thể tự động cảm biến kép cho năng suất tối đa
  • Model nhiều lớp XTC / 3M hỗ trợ tới 99 quy trình, 999 lớp, 32 phim, 2 cảm biến và hai nguồn
  • Model một lớp XTC / 3S hỗ trợ tối đa 9 phim, 2 cảm biến và hai nguồn
  • Màn hình đồ họa LCD dễ đọc
  • Films và quy trình có thể được gán tên duy nhất, để dễ dàng truy xuất khi cần.
  • Kết nối Ethernet có sẵn
  • XTC/3 có thể hoạt động độc lập (không cần máy tính) hoặc phần mềm Windows® tùy chọn cho PC hoạt động
  • Thay thế plug-and-play cho bộ điều khiển INFICON XTC / 2

CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU

Lớp phủ quang cao cấp (High End optical coatings)

Clip thực tế XTC/3S:

 

 

 

SPECIFICATIONS

TypeXTC3/SXTC3/M
Frequency Resolution±0.028 Hz @ 6 MHz±0.028 Hz @ 6 MHz
Measurement Frequency Range6.0 to 5.0 MHz (fixed)6.0 to 5.0 MHz (fixed)
Measurement Interval0.25 seconds0.25 seconds
Thickness & Rate Resolution / Measurement (1)±0.034 ű0.034 Å
Measurement TechnologyModeLockModeLock
Number of Processes199
Number of Layers1999
Number of Material Programs (or Films)932
Number of Sensor Inputs22
CrystalSix / Crystal 12 Sensor SupportYesYes
Support XTAL 2 SwitchYesYes
Number of Source Outputs22
Computer CommunicationsRS232 standard, Ethernet TCP/IP optionalRS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
Max RS232 Baud Rate115.2 KBaud115.2 KBaud
Automatic Crystal SwitchYesYes
Number of Relays12, Not Event Assignable12, Event Assignable
Number of Programmable Relay Functions11
Functions per Relay11
Relay Voltage Rating30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
Number of Inputs8 TTL, 24VDC Max8 TTL, 24VDC Max
Number of Programmable Input Functions1, Not Event Assignable1, Event Assignable
Number of Recorder Outputs11
Manual Power / Hand Held ControllerYesYes
Exhaust FanNo Exhaust FanNo Exhaust Fan
Test ModeYesYes
Shutter DelayYesYes
Secondary ToolingYesYes
Case Dimensionshalf rack, 2U highhalf rack, 2U high
Rate and Thickness Display Resolution0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
Film Select via InputsYesNo
User Guide LanguagesEnglish, ChineseEnglish, Chinese
Control LoopsPIDPID
Software to Operate from PCYesYes
DataloggingYesYes
Quality and Stability FunctionYesYes
Sample and Hold (RateWatcher™)YesYes
Crucible SelectionYesYes
Crucible Feedback InputYesYes
Select Control Voltage PolarityYes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit ResolutionYes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
Program Lock CodeYesYes
Display with GraphicsYesYes
User Labeled Processes (cell phone style alphanumeric entry)NoNo
User Labeled Films (cell phone style alphanumeric entry)NoNo
Transfer Sensor ControlYesYes
XTC/2 RS232 Communications CompatibilityYes (limited)Yes (limited)

(1) Tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz

Tải datasheet tại đây

Đánh giá

Chưa có đánh giá nào.

Hãy là người đầu tiên đánh giá “XTC/3 Thin Film Deposition Controller”

Yêu cầu báo giá

Tên của Bạn (bắt buộc)

Địa chỉ Email (bắt buộc)

Mobile (bắt buộc)