XTC/3 là bộ điều khiển rất thông dụng của hãng INFICON, được dùng trong qúa trình lắng đọng màng mỏng.
Thiết bị này dùng phù hợp cho cả quy trình đơn hoặc đa lớp.
XTC/3 với công nghệ ModeLock đã được cấp bằng sáng chế, cho phép ngăn chặn chế độ hop thường gặp trong đo độ dày màng mỏng.
Với bộ điều khiển này, bạn có thể kiểm soát chính xác tốc độ lắng đọng và độ dày , phù hợp cho hầu hết mọi lớp, cài đặt dễ dàng với độ tin cậy cực cao để đảm bảo năng suất tốt nhất.
ƯU ĐIỂM
Có sẵn model phù hợp cho quy trình single-layer vs multiple-layer
Công nghệ ModeLock được cấp bằng sáng chế ngăn ngừa lỗi độ dày màng do chế độ nhảy (mode-hopping)
Hỗ trợ INFICON Crystal 12®, Crystal Six® và chuyển đổi tinh thể tự động cảm biến kép cho năng suất tối đa
Model nhiều lớp XTC / 3M hỗ trợ tới 99 quy trình, 999 lớp, 32 phim, 2 cảm biến và hai nguồn
Model một lớp XTC / 3S hỗ trợ tối đa 9 phim, 2 cảm biến và hai nguồn
Màn hình đồ họa LCD dễ đọc
Films và quy trình có thể được gán tên duy nhất, để dễ dàng truy xuất khi cần.
Kết nối Ethernet có sẵn
XTC/3 có thể hoạt động độc lập (không cần máy tính) hoặc phần mềm Windows® tùy chọn cho PC hoạt động
Thay thế plug-and-play cho bộ điều khiển INFICON XTC / 2
CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU
Lớp phủ quang cao cấp (High End optical coatings)
Clip thực tế XTC/3S:
SPECIFICATIONS
Type
XTC3/S
XTC3/M
Frequency Resolution
±0.028 Hz @ 6 MHz
±0.028 Hz @ 6 MHz
Measurement Frequency Range
6.0 to 5.0 MHz (fixed)
6.0 to 5.0 MHz (fixed)
Measurement Interval
0.25 seconds
0.25 seconds
Thickness & Rate Resolution / Measurement (1)
±0.034 Å
±0.034 Å
Measurement Technology
ModeLock
ModeLock
Number of Processes
1
99
Number of Layers
1
999
Number of Material Programs (or Films)
9
32
Number of Sensor Inputs
2
2
CrystalSix / Crystal 12 Sensor Support
Yes
Yes
Support XTAL 2 Switch
Yes
Yes
Number of Source Outputs
2
2
Computer Communications
RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
Max RS232 Baud Rate
115.2 KBaud
115.2 KBaud
Automatic Crystal Switch
Yes
Yes
Number of Relays
12, Not Event Assignable
12, Event Assignable
Number of Programmable Relay Functions
1
1
Functions per Relay
1
1
Relay Voltage Rating
30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
Number of Inputs
8 TTL, 24VDC Max
8 TTL, 24VDC Max
Number of Programmable Input Functions
1, Not Event Assignable
1, Event Assignable
Number of Recorder Outputs
1
1
Manual Power / Hand Held Controller
Yes
Yes
Exhaust Fan
No Exhaust Fan
No Exhaust Fan
Test Mode
Yes
Yes
Shutter Delay
Yes
Yes
Secondary Tooling
Yes
Yes
Case Dimensions
half rack, 2U high
half rack, 2U high
Rate and Thickness Display Resolution
0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
Film Select via Inputs
Yes
No
User Guide Languages
English, Chinese
English, Chinese
Control Loops
PID
PID
Software to Operate from PC
Yes
Yes
Datalogging
Yes
Yes
Quality and Stability Function
Yes
Yes
Sample and Hold (RateWatcher™)
Yes
Yes
Crucible Selection
Yes
Yes
Crucible Feedback Input
Yes
Yes
Select Control Voltage Polarity
Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
Program Lock Code
Yes
Yes
Display with Graphics
Yes
Yes
User Labeled Processes (cell phone style alphanumeric entry)
No
No
User Labeled Films (cell phone style alphanumeric entry)
No
No
Transfer Sensor Control
Yes
Yes
XTC/2 RS232 Communications Compatibility
Yes (limited)
Yes (limited)
(1) Tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.