INFICON HPG400 | ATM to High-Vacuum Gauge

INFICON HPG400 ATM to High-Vacuum Gauge

HPG400 – High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge-  là dòng đầu đo kết hợp các cảm biến ion hóa nóng áp suất cao và Pirani trên cùng 1 thiết bị với thiết kế nhỏ gọn, tiết kiệm chi phí để đo áp suất từ ​​2 × 10^-6 mbar lên khí quyển (1,5 × 10^-6 Torr với khí quyển).

HPG400 cung cấp phép đo áp suất lặp lại và lặp lại cao để kiểm soát áp suất quá trình phun (sputter) chính xác

Ưu điểm

• HPG400 giúp tiết kiệm chi phí và giảm không gian lắp đặt cũng như giảm sự phức tạp của việc cài đặt và thiết lập hệ thống chân không
• Đầu đo đo ion nóng áp suất cao cung cấp các phép đo áp suất chính xác, đáng tin cậy từ 1 × 10^-5 … 1 mbar để kiểm soát quá trình được cải thiện
• Kích hoạt phát xạ ion nóng có thể lựa chọn bởi người dùng trong khoảng từ 5 × 10^-2 đến 1 mbar
• Khóa liên động Pirani bảo vệ dây tóc, cho thời gian hoạt động lâu hơn
• Hiển thị đồ họa tùy chọn và giao diện Fieldbus có sẵn
• Tự động điều chỉnh Pirani chân không cao làm giảm sự can thiệp của người vận hành
• Tuân thủ RoHS

CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU

• Ứng dụng phún xạ trong ngành sản xuất chất bán dẫn, công nghiệp điện tử
• Industrial Coating
• Đo và điều khiển chân không chung trong phạm vi chân không thấp đến cao

Thông tin đặt hàng

Thông số kỹ thuật

Vui lòng tải tại đây