Đầu đo chân không Pirani ion hóa

• Đầu đo chân không kết hợp cảm biến áp suất ion hóa và Pirani
• Giảm chi phí, không gian và độ phức tạp khi lắp đặt hệ thống chân không
• Độ chính xác cao, khoảng đo từ 10^-5 … 1 mbar
• Đầu đo Pirani tự động điều chỉnh, giúp giảm vận hành bằng tay
• Tùy chọn màn hình hiển thị LCD, kết nối Profibus DP hoặc DeviceNet
• Tương thích RoHS

Ứng dụng:

• Sản xuất bán dẫn, điện tử
• Mạ công nghiệp
• Đo lường chân không nói chung và điều khiển từ khoảng áp suất chân không thấp đến cao

• Khoảng đo: 2 x 10^-6 … 100 mbar
• Độ chính xác: ±15% giá trị đo
• Kích hoạt phát ion tùy chọn: 1, 5 x 10^-1, 2 x 10^-1, 1 x 10^-1, 5 x 10^-2 mbar
• Áp suất tối đa: 2 bar
• Nhiệt độ làm việc: 0 … 50^oC
• Điện áp nguồn cấp: 20 … 28V DC
• Điện áp ngõ ra: 0 … 10.2V DC
• Điện áp / áp suất: 1 V / decade (Cathode), 0.25 V / decade (Pirani)
• Giao tiếp (số): RS232
• Đầu nối: D-Sub male, 15 chân
• Kích thước mặt bích: DN 25 ISO-KF, DN 40-F

Phụ kiện:

• P/N 353-511: Nguồn 24V DC
• P/N 211-113: Vòng định tâm với tấm ngăn DN 25 ISO-KF

Bộ phận thay thế:

• P/N 354-487: cảm biến thay thế 25 ISO-KF
• P/N 354-488: cảm biến thay thế 40 CF-R