Đầu đo chân không kiểu điện dung – EDGE

Đầu đo chân không kiểu điện dung – EDGE

• Model: CDG045D2, CDG100D2
• Đầu đo chân không với độ chính xác cao, thiết kế nhỏ gọn
• Dễ dàng tích hợp, tùy chọn giao tiếp EtherCAT
• Cổng chẩn đoán cho việc bảo trì và sửa chữa
• Khả năng chịu nhiệt, chống ăn mòn
• Đầu cảm biến bằng sứ, độ bền cao
• Chuẩn tương thích: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Giải pháp đo chân không lý tưởng cho môi trường khác nghiệt với khả năng chống ăn mòn và chịu được nhiệt độ cao

Ứng dụng:

• Mạ chân không CVD, PVD, khắc
• Các quy trình sản xuất bán dẫn khác

• Model: CDG045D2, CDG100D2
• Khoảng đo: 1 … 1000 Torr
• Độ chính xác: 0.15% giá trị đo
• Áp suất tối đa: 400 kPa / 260 kPa (1 … 500 Torr)
• Độ phân giải: 0.003% thang đo
• Giá trị đọc nhỏ nhất: 0.01% thang đo
• Nhiệt độ làm việc: 10…40 ^oC
• Điện áp nguồn: 14…30V DC hoặc ±15 V
• Điện áp ngõ ra: 0…10V DC
• Kết nối: D-sub 15 chân, male
• Cổng chẩn đoán: RS232-C (áp suất, trạng thái, ID)
• 2 setpoint, tiếp điểm relay ≤ 30V DC / 0.5A
• Mặt bích: tùy chọn DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, OD ½ inch, 8 VCR female
• Vật liệu tiếp xúc chân không: nhôm oxit sứ, thép không gỉ (AISI 316L)
• Cấp bảo vệ: IP 40