OPG550 Augent™ Optical Plasma Vacuum Gauge – INFICON
OPG550 là dòng đầu đo plasma quang học nhỏ gọn và thông minh, chuyên dùng để giám sát chân không.
Augent ™ kết hợp hai công nghệ cảm biến trên một thiết bị nhỏ gọn để giám sát loại khí từ 1 × 10-7 đến 5 mbar và để đo tổng áp suất từ khí quyển xuống tới 1 × 10-7 mbar cùng một lúc.
Augent ™ được bảo vệ bởi một cảm biến Pirani tích hợp để tắt plasma khi áp suất trên 20 mbar.
Trong phạm vi đo từ 1 × 10-7 đến 5 mbar, đầu đo này cho phép phát hiện các khí như Oxy, Nitơ, Hydro hoặc Argon.
ƯU ĐIỂM
- Phát hiện rò rỉ tốc độ cao cho phép kiểm tra rò rỉ buồng
- Tăng năng suất và sản lượng
- Tuổi thọ cao, không bị bỏng dây tóc, bảo vệ không khí xâm nhập
- Chịu được quá trình hóa học
- Thuật toán thông minh để tích hợp dễ dàng
- Thiết kế nhỏ gọn
- Khởi động nhanh và đáng tin cậy
CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU
- Kiểm tra rò rỉ buồng, kiểm tra RoR (tốc độ tăng) nhanh hơn
- Kiểm tra rò rỉ để tìm rò rỉ bên trong từ đường cấp khí
- Kiểm soát điểm kết thúc thời gian thực
- Kiểm soát loại khí và nồng độ
MÃ ĐẶT HÀNG
VẬT TƯ TIÊU HAO
| OPG550 | |
|---|---|
| Part Number | Description |
| 351-590 | OPG550 spare sensor, 16-KF |
| 351-591 | OPG550 spare sensor, 16-CF-R |
| 351-592 | OPG550 spare sensor, 25-KF |
| 351-593 | OPG550 spare sensor, 8-VCR female |
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.