opg550

OPG550 Augent™ Optical Plasma Vacuum Gauge


Danh mục: .
Từ khóa: , , , .

Hỗ trợ mua hàng: 0976 974 726 - Mr.Tuấn

   
1609 lượt đã xem sản phẩm này

OPG550 Augent™ Optical Plasma Vacuum Gauge – INFICON

OPG550 là dòng đầu đo plasma quang học nhỏ gọn và thông minh, chuyên dùng để giám sát chân không.

Augent ™ kết hợp hai công nghệ cảm biến trên một thiết bị nhỏ gọn để giám sát loại khí từ 1 × 10-7 đến 5 mbar và để đo tổng áp suất từ khí quyển xuống tới 1 × 10-7 mbar cùng một lúc.

Augent ™ được bảo vệ bởi một cảm biến Pirani tích hợp để tắt plasma khi áp suất trên 20 mbar.

Trong phạm vi đo từ 1 × 10-7 đến 5 mbar, đầu đo này cho phép phát hiện các khí như Oxy, Nitơ, Hydro hoặc Argon.

ƯU ĐIỂM

  • Phát hiện rò rỉ tốc độ cao cho phép kiểm tra rò rỉ buồng
  • Tăng năng suất và sản lượng
  • Tuổi thọ cao, không bị bỏng dây tóc, bảo vệ không khí xâm nhập
  • Chịu được quá trình hóa học
  • Thuật toán thông minh để tích hợp dễ dàng
  • Thiết kế nhỏ gọn
  • Khởi động nhanh và đáng tin cậy

CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU

  • Kiểm tra rò rỉ buồng, kiểm tra RoR (tốc độ tăng) nhanh hơn
  • Kiểm tra rò rỉ để tìm rò rỉ bên trong từ đường cấp khí
  • Kiểm soát điểm kết thúc thời gian thực
  • Kiểm soát loại khí và nồng độ

MÃ ĐẶT HÀNG

VẬT TƯ TIÊU HAO

OPG550
Part Number Description
351-590 OPG550 spare sensor, 16-KF
351-591 OPG550 spare sensor, 16-CF-R
351-592 OPG550 spare sensor, 25-KF
351-593 OPG550 spare sensor, 8-VCR female

SPECIFICATIONS

Type OPG550
Measurment system Cold Cathode according inverted magnetron principle and Thermal conductivity according Pirani principle
Measurement range N2 1×10-7 … 5
Detection limit 25 liter chamber
O2 leaks in pressure rise method mTorr >0.3
O2 leaks during pump down from atmosphere with N2 backfill mTorr >1
Accuracy total pressure reading N2
1 x 10-7 … 100 mbar % of reading 5
100 … 1000 mbar % of reading 50
Repeatability total pressure reading N2
1 x 10-7 … 100 mbar % of reading 5
Pressure
Limited to inert gases < 50°C bar (absolute) <10
Temperature
Operation (ambient) °C +5 … +50
Storage °C -20 … +70
Bakeout at flange with electronic unit °C <80
Bakeout at flange w/o electronic unit °C <120
Relative humidity for 30 days a year
Humidity % <95 (non-condensing)
Supply voltage
At gauge V (dc) +14.5 … +30
Ripple V (p-p) <1
Power consumption W <5
Fuse to be connected AT 1
Output signal
Analog V (dc) 0 … +10
Digital RS232C
Electrical connection D-Sub, 9-pin, male
High voltage (in the measuring chamber)
Ignition voltage kV <4.5
Operating voltage kV <3.3
Materials exposed to vacuum
General Al2O3, Stainless seel 1.4435
Anode Molybdenum
Ionization chamber Titanium, stainless steel 1.4016
Ignition aid Stainless steel 1.4310
Vacuum flange DN16 ISO-KF, DN16 CF-R,DN25 ISO-KF, 8-VCR female
Internal volume cm³ (in.³) <20 (1.22)
Weight g <700
Dimensions
Footprint mm 68 x 68
Height mm <137
Protection type IP40
Standards CE

Tải datasheet tại đây

Đánh giá

Chưa có đánh giá nào.

Hãy là người đầu tiên đánh giá “OPG550 Augent™ Optical Plasma Vacuum Gauge”

Yêu cầu báo giá

    Tên của Bạn (bắt buộc)

    Địa chỉ Email (bắt buộc)

    Mobile (bắt buộc)