INFICON UL3000Fab | Bàn giao cho Khách hàng Bán Dẫn |10/2026
- T4, 10 / 2026
- 4 lượt đã xem
INFICON UL3000Fab – Máy dò rò rỉ Helium siêu nhạy, tốc độ kiểm tra vượt trội
INFICON UL3000Fab là máy dò rò rỉ Helium hiệu suất cao của Đức, được thiết kế cho ngành bán dẫn, công nghệ chân không và các ứng dụng yêu cầu kiểm tra độ kín nghiêm ngặt.
Điểm mạnh nổi bật của UL3000Fab là khả năng phát hiện rò rỉ Helium cực nhỏ, kết hợp tốc độ hút chân không nhanh và công nghệ xử lý tín hiệu thông minh, giúp doanh nghiệp nâng cao năng suất kiểm tra mà vẫn duy trì độ nhạy phát hiện cao.
Ưu điểm nổi bật
- Độ nhạy cực cao: Phát hiện rò rỉ Helium nhỏ hơn 5 × 10⁻¹² mbar·L/s ở chế độ chân không.
- Phản hồi nhanh: Thời gian đáp ứng dưới 1 giây trong điều kiện thử nghiệm theo tài liệu kỹ thuật.
- Tối ưu thời gian kiểm tra: Công nghệ I·CAL giúp đo nhanh trong dải rò rỉ nhạy; I·ZERO 2.0 hỗ trợ triệt nền thông minh mà vẫn duy trì độ nhạy đo.
- Hút chân không nhanh: Tốc độ bơm thô tối đa trên 30 m³/h đối với UL3000Fab và trên 36 m³/h đối với UL3000Fab ULTRA.
- Hai phương pháp kiểm tra: Dò rò rỉ bằng phương pháp chân không và phương pháp đầu dò hút khí (sniffer).
- Vận hành linh hoạt: Màn hình màu độ phân giải cao, có thể xoay; hỗ trợ giao tiếp USB và Ethernet/LAN.
Thông số kỹ thuật nổi bật
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Khí dò | Helium (He) |
| Giới hạn phát hiện – chế độ chân không | < 5 × 10⁻¹² mbar·L/s |
| Giới hạn phát hiện – chế độ sniffer | < 5 × 10⁻⁸ mbar·L/s |
| Thời gian đáp ứng | < 1 giây |
| Thời gian khởi động | < 3 phút |
| Tốc độ bơm thô | > 30 m³/h (Fab); > 36 m³/h (Fab ULTRA) |
| Tốc độ bơm Helium ở chế độ ULTRA | 4 L/s |
| Cổng kết nối buồng thử | DN 25 KF |
| Nguồn điện | 100–240 VAC, 50/60 Hz |
| Công suất tiêu thụ | Khoảng 700 VA; tối đa 1.500 VA |
Thông số tham khảo theo tài liệu kỹ thuật INFICON
Ứng dụng
UL3000Fab phù hợp cho kiểm tra độ kín buồng chân không, hệ thống chân không, đường ống khí công nghệ, thiết bị phủ màng mỏng, dây chuyền sản xuất bán dẫn và các linh kiện yêu cầu độ kín cao.
INFICON UL3000Fab – Phát hiện rò rỉ cực nhỏ, tối ưu thời gian kiểm tra, nâng cao độ tin cậy trong sản xuất.
📩 Liên hệ để được tư vấn cấu hình, phụ kiện và giải pháp kiểm tra rò rỉ Helium phù hợp với ứng dụng thực tế.
#INFICON #UL3000Fab #HeliumLeakDetector #MayDoRoRiHelium #VacuumTechnology #Semiconductor



